й. Однак достоїнством второю є відсутність контакту матеріалу, який випаровуєтьсязі спіральним нагрівачем. Експлуатаційним недоліком тигельних випарників єте, що вони інерційні, так як мала теплопровідність матеріалу, з якого виготовляютьтигель, не забезпечує швидкого нагріву испаряемого речовини.
Електронно-променевівипарники.
Рис. 6. Електронно-променевої випарник 1 - полюсної наконечник,2 - електромагніт, 1 - водоохолоджувального тигель, 4 - випаровує матеріал, 6 - термокатодом,7 - фокусирующая система, 8 електромагнітний промінь, 9 - тонка плівка, 10 - підкладка
Випарникиз електронно-променевим нагрівом засновані на тому, що кінетична енергія потоку прискоренихелектронів при бомбардуванні ними поверхні речовини перетворюється на теплову енергію,в результаті чого воно нагрівається до температури випаровування.
Електронно-променевийвипарник (рис.6) складається з трьох основних частин: електронної гармати, відхиляючоїсистеми і водоохолоджуваних тигля. Електронна гармата призначена для формуванняпотоку електронів і складається з вольфрамового термокатодом 6 і фокусуючої системи7. Електрони, що емітуються катодом, проходять фокусуючу систему, прискорюються зарахунок різниці потенціалів між катодом і анодом (до 10 кВ) і формуються в електроннийпромінь 8.
Відхиляючасистема призначена для створення магнітного поля, перпендикулярного напрямкушвидкості руху електронів, що виходять з фокусуючої системи гармати, і складаєтьсяз полюсних наконечників 1 і електромагніта 2. Між полюсними наконечниками розташованіводоохолоджуваний тигель 3 і електронна гармата. Відхиляючи електронний промінь магнітнимполем, його направляють у центральну частину водоохолоджуваних тигля 3. У місці падінняпроменя створюється локальна зона випаровування речовини з рідкої фази. Нагріте електронноїбомбардуванням матеріал 4 випаровується, потік 5 осідає у вигляді тонкої плівки 9на підкладці 10. Змінюючи струм в котушці електромагніту 2, можна сканувати променемуздовж тигля, що запобігає утворенню "кратера" в випаровується матеріалі.
Мідніводоохолоджувані тиглі місткістю 50 см і більше забезпечують тривалу безперервнуроботу без добавки матеріалу, який випаровується, який, крім того, не контактує врозплавленому вигляді з мідними стінками тигля.
Недолікицих випарників - складність апаратури живлення та управління, труднощі випаровуванняметалів високої теплопровідності (мідь, алюміній, срібло, золото) з водоохолоджуванихтигля, необхідність частої заміни катода, а також харчування високими напругами.
Забезпечення рівномірності товщини плівки
Необхіднозабезпечувати рівномірність розподілу товщини плівки на підкладці, що є
Рис. 7.
Товщинаодиницю часу.Як видно з рис.речовини.НерівномірністьКожен6.
Рис. 8.
У методі
Методиплівок
метод.
Електричне
При виміраходночасно
Контрольнунапилення.
Вимірювання
Масу
Коефіцієнт
Відзначимо
1) висока
3) можливість
4) можливість
5) забруднення
У зв'язку
